Физико-технический институт

https://phti.by/  
220141 Минск, ул. Купревича 10

Резка слитка монокристаллического кремния на пластины и лазерное генерирование примесей в полупроводниковых структурах

СТРАНА ПРОИСХОЖДЕНИЯ

Беларусь

ИДЕНТИФИКАТОР

TO2738

ОПУБЛИКОВАНО

2020-09-18

ПОСЛЕДНЕЕ ОБНОВЛЕНИЕ

2020-11-26

СРОК ДЕЙСТВИЯ

Связанный профиль на другом языке
Ответственный (контактное лицо)
Матяс Мария
+375 17 342 3706
market@phti.by
Описание
Предназначена для изготовления кремниевых пластин для интегральных микросхем; удаление быстродиффундирующих примесей из активных областей интегральных микросхем.
Используется в микроэлектронике.
Разработаны:
Режущий инструмент и рекомендации с учетом кристаллографических факторов для кремниевых пластин ориентации (001) и (111) по:
– режимам резки слитка монокристаллического кремния на пластины;
– режимам лазерного геттерирования быстродиффундирующих примесей.
Преимущества и инновации
– методы резки позволяют получить более равномерное распределение и значительное снижение глубины нарушенных слоев на поверхности отрезаемых пластин, улучшить
геометрические параметры — уменьшить прогиб и устранить микроволнистость поверхности;
– методы геттерирования примесей позволяют формировать геттерирующие области большой емкости, исключающие выход дислокаций на рабочую поверхность пластин, повысить выход годных полупроводниковых структур.
Микроинструмент
Стадия разработки
Проведены эксплуатационные испытания (TRL8)
Источник финансирования
Бюджетные средства
Собственные средства
Состояние прав на ОИС
Секретное ноу-хау
Секторальная группа (Классификатор)
Аэронавтика, космос и технологии двойного назначения
Материалы
Нано- и микротехнологии

Информация о клиенте

Опыт международного сотрудничества
Есть
Языки общения
Английский
Русский

Информация о сотрудничестве

Тип сотрудничества
Коммерческое соглашение с технической поддержкой
Тип и размер искомого партнера
251-500
МСП <= 10
МСП 11-50
МСП 51-250

Приложения

Количество уникальных просмотров в одной сессии: 1319
Статистика ведется с 26.11.2020 17:07:18